空 氣 清 淨 度 管 理

測試區域

檢整區

熱處理室

長晶區

各室名稱

分類室

檢查室

採
樣
點

1

2

管
理
值

粒度

 > 0.5 μm > 0.5 μm > 0.5μ m

規格

 ≦ 1,000 個 / CFM ≦ 2,000 個 / CFM ≦ 20,000 個 / CFM

合／否

 fok1 fok2 fok3 fok4

測試時間

 ftime1 ftime2 ftime3 ftime4

異常處理對策
FORMLIST

TQ0406-001 A/2