【導入事例】TSMCが採用。マントルヒーターの断線・局部過熱課題を解決し、生産ラインの安定稼働を実現

公開日：2024年11月18日 | カテゴリ：半導体製造・熱管理ソリューション

課題背景：マントルヒーターにおける断線トラブルの発生

半導体や化学工業の精密製造プロセスにおいて、温度の均一性と安定性は製品品質を左右する極めて重要な要素です。世界トップクラスの半導体メーカーであるTSMCでは、2025年に省エネ型配管加熱システムを導入し、大幅な電力削減を達成しました。

【直面した課題】

導入初期において、ヒーター設置時の負荷による加熱線の断線事象が確認されました。断線は局部的な過熱や流体の滞留を招き、装置のダウンタイム増大や安全上のリスクに直結するため、耐久性の抜本的な向上が急務となりました。

GoodGiは、加熱線、ガラス編組チューブ、ケーブルグランドのすべてを自社開発・内製化しており、設計から製造まで一貫した品質管理を行っています。本事例では、以下の技術的改良を施しました。

改良項目	技術的特徴
高耐久・螺旋編組構造	合金導体をガラス繊維で補強。機械的ストレスを分散し、断線リスクを極小化。
日本製高品質導体	インピーダンスのバラつきを抑制。長期運用における性能安定化と長寿命化を担保。
高機能保護部材	耐熱・難燃性に優れたガラス編組チューブと防水・防塵ケーブルグランドを採用。